油壓傳感器根據(jù)不同的取壓器形式，可以分為Si應(yīng)變片式、陶瓷式以及濺射薄膜式三種。
 

　　Si應(yīng)變片式的特點是其成本低，且適宜于大批量生產(chǎn)。此種油壓傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)，通過惠斯通電橋結(jié)構(gòu)放大壓力導(dǎo)致的電阻量變化，從而轉(zhuǎn)化為最終的電壓或電阻輸出。對于Si材料本身來說，其壓阻效應(yīng)相較于金屬和陶瓷而言更加明顯，因此Si應(yīng)變片式除了具有成本低及適宜于大批量生產(chǎn)的優(yōu)點意外，還具有測量范圍寬、靈敏度高、輸出信號強等特點，在低壓值的傳感器中應(yīng)用較廣。Si應(yīng)變片式的一個顯著的缺點是，Si材料本身的強度不足，如果環(huán)境中有較強的壓力沖擊，容易直接將Si應(yīng)變片擊穿，對整個油壓控制系統(tǒng)造成損害。當(dāng)前的使用中，一般應(yīng)用油或真空將其隔離，以期保證后續(xù)電路系統(tǒng)的安全性。
 

　　陶瓷式的核心元件為陶瓷芯體。陶瓷為一種具有抗腐蝕和抗震動等特色的材料，同時其熱穩(wěn)定性要由于Si材料，其*工作溫度范圍可達-40℃到125℃(相比較而言，Si的*工作溫度范圍為-20℃到85℃)，且具有長期熱穩(wěn)定性。其一般的測量原理為，將厚膜電阻片制作在陶瓷薄膜表面，陶瓷薄膜受壓變形后厚膜電阻的阻值相應(yīng)的發(fā)生變化，從而輸出端壓差的存在。通過一定的校準后，陶瓷式具有長期的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性，同時其可應(yīng)用于氣壓和水壓的測量。
 

　　濺射薄膜式是將厚膜電路采用濺射的方法制作在不銹鋼薄片的表面。由于濺射本身技術(shù)的*性，厚膜電路和不銹鋼之間通過分子鍵鍵合，具有長期的穩(wěn)定性。當(dāng)前應(yīng)用廣泛的高壓油壓傳感器，大部分均為濺射薄膜式油壓傳感器，雖然其制造成本高，但由于其精度高，長期穩(wěn)定性好，溫度敏感性好，從而廣泛應(yīng)用于船舶、工程機械等大中型液壓設(shè)備中。